工业废气处理设备的科技创新和研发方向主要集中在以下几个方面：

1. 能效：研发新型低能耗、的废气处理技术，如利用膜分离、催化燃烧、低温等离子体等技术，减少能源消耗，提高废气净化效果。

2. 环保材料：探索和开发新型环保吸附材料，如活性炭、金属有机框架（MOFs）等，具有更强的吸附能力和稳定性，降低运行成本。

3. 智能化：实现设备的自动化和智能化控制，通过物联网、大数据等技术，实时监控废气排放情况，预测维护需求，提高运营管理水平。

4. 多污染物协同处理：针对混合废气，研究一体化或多步骤处理方法，同时去除多种有害气体，减少二次污染。

5. 循环经济：研发废气资源化技术，将废气转化为有价值的副产品，如能源或化学品，实现废物减量化和资源化。

6. 绿色设计：在设备设计阶段就考虑环保因素，采用模块化、可拆卸结构，便于维修和更换，减少废弃物产生。

7. 研究新型工艺：持续关注前沿科研成果，如光催化、生物降解等新兴技术，探索其在废气处理领域的应用潜力。