工业废气处理设备的工艺流程包括以下几个步骤：

1. 废气收集：首先，需要将工业废气收集起来。这可以通过管道或抽风机将废气引入处理设备中。

2. 预处理：在废气进入主要处理设备之前，通常需要进行预处理。预处理的目的是去除废气中的大颗粒物、液滴、油脂等杂质，以保护后续设备的正常运行。

3. 主要处理：主要处理设备通常采用物理、化学或生物方法来处理废气。物理方法包括吸附、吸收、膜分离等，化学方法包括氧化、还原、中和等，生物方法则利用微生物来降解废气中的有害物质。

4. 尾气处理：在主要处理后，可能会产生一些尾气。尾气处理的目的是进一步净化废气，确保排放的废气符合相关的排放标准。尾气处理设备可以采用吸附剂、催化剂等来去除废气中的残余污染物。

5. 排放：经过处理后的废气可以通过烟囱或排气管道排放到大气中。排放时需要满足相关的排放标准，以保护环境和人类健康。

总的来说，工业废气处理设备的工艺流程包括废气收集、预处理、主要处理、尾气处理和排放等步骤，通过这些步骤可以有效地净化工业废气，降低对环境的影响。