工业废气处理设备的清洁方法通常有以下几种：

1. 机械清洁：使用旋转刷或高压气体射流清洁废气处理设备，以去除灰尘、油污等杂物。

2. 化学清洁：使用酸性或碱性清洁剂清洁废气处理设备，以去除氧化物、氢氧化物等。

3. 药剂清洁：使用药剂清洁剂清洁废气处理设备，以去除有机污染物和异味。

4. 离线清洁：使用离线清洁方法，如蒸汽清洁、高温清洁等，以确保废气处理设备的清洁度和性能。

为了确保废气处理设备的性能和使用寿命，建议定期清洁和维护。在清洁过程中，应注意以下几点：

1. 在清洁之前，应确保废气处理设备已经停止运行，并且断开与电源的连接。

2. 在清洁过程中，应注意避免清洁剂进入废气处理设备内部，以免影响其性能。

3. 在清洁过程中，应注意避免使用硬物或尖锐的工具，以免损坏废气处理设备。

4. 在清洁废气处理设备之后，应注意清洁废气处理设备内部的残留杂物，并重新连接电源。