工业废气处理设备是一种专门用于净化和处理各种工业企业排放的废弃物的装置。它的工作原理主要是通过物理或化学方法，将有害气体中的污染物转化为无害物质或者减少其浓度，从而降低其对环境和人体的危害程度。

具体来说，当含有污染物质的空气进入该设备的初段时，其中的大部分有机和无机挥发性化合物将被吸附在活性炭等材料上而被去除；对于某些需要进一步处理的、被认为是有毒的气体，则会被送入氧化区进行处理。在这里，高湿度的臭氧（O3）与有毒气体发生反应以消除它们的毒性成分并使之稳定化，然后由另外一套系统将其导出室外大气中。而在整个过程中所产生的一些无法中和的有害残留物则会根据具体情况进行回收利用或在适当的场所安全排弃。