工业废气处理设备的保养需要注意以下几点：

1. 定期清理废气处理设备内部的杂质，以避免堵塞。

2. 定期检查废气处理设备的各个部件是否正常工作，如有损坏应及时更换。

3. 定期检查废气处理设备的温度是否正常，如有过高应及时采取措施。

4. 定期检查废气处理设备的压力是否正常，如有不足应及时补充。

5. 定期检查废气处理设备的润滑油是否充足，如有不足应及时补充。

6. 在使用过程中，应避免废气处理设备在高温、高湿度、强腐蚀性气体环境中长期使用。

7. 在使用过程中，应避免废气处理设备过载运行，以免造成设备损坏。

8. 在使用过程中，应按照废气处理设备的使用说明书进行操作，以确保设备的正常使用和安全使用。