工业废气处理设备的工艺流程一般包括以下步骤：

1. 收集和预处理。首先，需要将排放的污染物进行初步过滤、沉降等操作，去除较大的颗粒物和其他悬浮物质。这可以通过使用集尘袋或旋风分离器来实现。然后通过水洗或者碱液喷洒的方式对气体进行处理，以脱除部分挥发性有机化合物（VOC）。这一步可以使用湿式洗涤塔来完成。

2. 吸附与解析。接下来的一步是利用活性炭或其他材料来吸收气味和一些有毒有害的气体分子；而当这些吸满污染物的固体催化剂经过一定时间后会逐渐失效，此时需要进行更换或在适当的时候用新的载体替换旧的催化床层。这是由人士根据实际工程问题设计出合理的换置周期进行的更换工作。在这一过程中也可以考虑加入一些特殊的添加剂如触媒剂以提高净化效率。一步是将净化的空气排出并输送至下一个环节中继续深度加工提纯或是直接达标后向大气环境释放。