0　　在多晶硅的制造中，还会继续造成一定的废气和残液，现阶段大家的废气处理设备早已较为，对过去的处置技术性完成了改善，早已做到了较高的水准。

　　多晶硅是太阳能发电和微电子技术行业的重要原料，伴随着中国太阳能发电行业的迅速发展趋势，多晶硅的需求也与日俱增。现阶段，多晶硅生产工艺活跃性。关键有西门子法、冶金工业法、低温等离子法、氯硅烷法、循环流化床法、光热发电电解食盐水、无氯生产工艺等。西门子法是根据液相堆积的方法生产制造柱型多晶硅。为了更好地提升原材料利用率，在原根基上选用闭环控制式生产工艺流程即改进西门子法。改进西门子加工工艺制造的多晶硅生产能力约占全球总产量的80%。

　　世界各国对西门子法制取高纯度多晶硅的分析较多。如张玉等选用催化反应有机化学液相堆积法制取多晶硅塑料薄膜;英国M.M.Dahl等分析了多晶硅在循环流化床中的宏观构造和颗粒物生长发育。除此之外，多晶硅的生产工艺也有碳热还原法、地区冶炼法等。碳热还原法是利用高纯度碳复原二氧化硅制得多晶硅，地区冶炼法是利用金属材料定项凝结基本原理将金属材料级硅纯化到、太阳能发电级硅的。

　　废气和残液的解决

　　在多晶硅制取中有大批量的废气和废水造成，中国大多数企业一般先用水清洗水解反应，随后根据NaOH中合废气解决和残液解决工艺流程。

　　废气净化处理

　　氯硅烷分离出来纯化工艺流程各精馏装置顶排出的含氯硅烷、N2的废气，及含氯硅烷、氡气、N2、氯化氢的多晶硅还原炉换置吹扫气和多晶硅还原炉安全事故排出气等，被送入废气净化塔组，自来水(盐酸溶液)清洗，废气中的氯硅烷与水产生下列反映而被去除：

　　SiHCl3 2H2O=SiO2 3HCl H2

　　SiCl4 2H2O=SiO2 4HCl

　　SiH2Cl2 2H2O=SiO2 2HCl H2

　　出尾气处理塔上带有氮气和氢气的废气经液封罐放空自己，出尾气处理塔塔底带有SiO2固态的盐酸溶液用泵送进加工工艺废料处理工艺流程。