工业废气处理设备的保养需要注意以下几点：

1. 定期清理废气处理设备内部的灰尘和杂质，以确保其正常运行。

2. 定期检查废气处理设备的各个部件是否完好，如有损坏应及时更换。

3. 定期检查废气处理设备的工作参数是否正常，如氧气浓度、温度等。

4. 定期检查废气处理设备的过滤器是否堵塞，如发现堵塞应及时清理。

5. 定期检查废气处理设备的催化剂是否需要更换，以确保废气处理效果。

6. 在使用过程中，应注意维护和保养，以确保废气处理设备的正常运行和长期使用。