工业废气处理设备中，清洗槽是不可或缺的一部分。根据功能和应用场景的不同，清洗槽可以分为多种类型：

1. 清洗槽（QDR槽）

主要用于每一步腐蚀液或酸洗液后的去离子水冲洗阶段。其工作原理是通过上喷淋、水的方式使水位到达槽边缘后自动溢流；当需要排空时则打开快速排放阀进行DI水的迅速排出。这种设计有利于且重复地进行清洁操作。

2. 溢流槽

在底部持续注入化学液体直至液位达到并超过槽的上边缘而自然溢出到四周的设计称为“溢流”。这种方式常用于需要维持一定浓度的化学溶液环境并确量液体的有序排除的场景之中。

3. 超声波水槽/超声槽

这类清洗槽通常在不锈钢的底部或者侧面安装有超声波振子或是振动板件装置通过高频声波产生的能量来分散和剥离晶片表面附着的污染物颗粒使得洁净提升通常频率设定为如常见的40kHz左右以应对不同需求级别的精细度要求 。

这些不同类型的清洗槽在工业废气处理设备的运用过程中各司其职共同协作确保了整个系统的稳定运行与环保标准的达标实现为企业的可持续发展提供了坚实保障需要注意的是具体选型应结合实际情况及工艺要求进行综合考虑以确保与使用效果的达成 。