工业废气处理设备去除微小颗粒的方法多种多样，主要包括以下几种技术：

1. 静电沉降法：利用高压电场使废气中的微粒带电后受到电场力的作用而沉积在集尘极上。这种方法对于去除细小颗粒物尤为有效，广泛应用于工业除尘领域。（参考自百家号）

2. 滤料过滤法（布袋式过滤器）：通过的纤维或织物制成的袋状滤芯来和截留气体中的尘埃粒子及其他杂质物质。该方法适用于中小颗粒物的过滤与捕获。（参考自百家号和实际经验总结）

3. 洗涤器系统：采用喷淋塔等装置向含有粉尘的气体喷射液体洗涤剂液滴或通过水膜将粉尘从气流中分离出来的一种净化方式，可处理包括微小粒径在内的多种污染物类型。(根据常见处理技术原理推导)

4. 生物降解法与活性炭吸附器的结合使用：在某些情况下虽不直接针对细微粒子的物理分离但可通过改变其化学性质间接辅助减少排放浓度；而活性炭层则能有效吸附包括有机化合物及部分无机物小分子等在内的污染成分进而实现空气净化目标之一面也涵盖了对于微观尺度物质的治理能力提升可能路径之思考方向(基于现有技术与潜在发展方向的综合分析)。然而需注意此方案更侧重于复合污染治理而非单一专注于细小微粒问题解决方案设计层面考量结果展示。)

5.烟气净化综合技术: 结合了上述多种方法的优点,如同时运用静电力、机械拦截以及化学反应等手段实现对复杂组分污染源的有效控制与处理;此外还包括一些新兴氧化技术等前沿科技手段应用探索阶段也为未来进一步提升精细治理水平提供了广阔空间.(根据当前技术发展趋势推测未来信息增长点).