工业废气处理设备的主要性能指标包括但不限于以下几个方面：

1. 处理效率：设备的指标，直接决定了废气中污染物的去除程度。的处理能力能够确保排放的尾气符合国家或地方的环保标准；同时还应考虑到其运行时间、能源消耗等因素以反映性能优劣。

2. 稳定性与可靠性：设备应能在长时间内保持稳定的运行状态和的污染物处理能力，故障率低且易于维护修缮也是重要的考量因素之一。可以通过观察设备运行记录来评估该指标是否达标。。

3. 抗腐蚀性与耐温性能：由于部分工业气体腐蚀性较强或在温度下才能有效净化，因此所用材质需具备出色的耐腐蚀性和良好的温度适应性以确保长期稳定运行而不受损毁。 4.热回收率及阻力损失等流体力学特性（主要针对RTO等设备）：较高的能源利用率和热回收率有助于降低企业的运营成本并提升经济效益的同时增强环境保护效果 ；较小的阻力损失则意味着更优的设备性能和更稳定的运行状态 。此外还包括使用寿命等其他重要技术指标来衡量整体耐用性及经济可行性高低与否的问题。