工业废气处理设备的安全防护措施主要包括以下几个方面：

1. 防护罩与封闭设计：设备应有严密的防护罩，防止操作人员直接接触有害废气。外壳应坚固，防止机械故障时飞溅的部件对人员造成伤害。

2. 安全联锁系统：安装紧急停机按钮和超压、超温保护装置，一旦设备运行异常，能自动停止并发出警报。

3. 燃爆防护：对于处理废气的设备，需采取防爆设计，如使用防爆电机和防爆电气元件，确保在发生火花时不引发。

4. 气体检测：定期对废气成分进行监测，设置有毒有害气体报警器，超标时会自动切断电源，保障操作人员安全。

5. 通风设施：设备周围应配备良好的通风设施，确保有害废气及时排出，并避免积聚引发安全事故。

6. 培训与标识：操作人员需经过培训，设备上应有清晰的操作指南和警示标识，提醒人员遵守安全规程。

7. 维护保养：定期进行设备维护和检查，及时发现并修复潜在安全隐患。

通过这些综合防护措施，可以有效降低工业废气处理设备运行过程中的安全风险。