评估工业废气处理设备的性能参数主要包括以下几个方面：

1. 处理效率：这是指标，通常以去除废气中特定污染物（如、氮氧化物、颗粒物等）的浓度减少百分比来衡量。率意味着设备能更有效地净化废气。

2. 负荷适应性：设备应能在不同工况下稳定运行，包括处理量的变化、废气成分的波动等，其性能不应明显下降。

3. 运行稳定性：设备应具有良好的运行稳定性，故障率低，维护周期长，保证连续生产过程中的废气处理效果。

4. 能耗与经济性：能耗是设备运行成本的重要组成部分，低能耗的设备更具经济效益。此外，一次性投资和长期运行成本也需考虑。

5. 环保指标：如排放达标性，是否符合国家和地方的环保法规要求，对环境影响小。

6. 噪音与排放：设备运行时产生的噪音和排放物（如颗粒物、有害气体等）应控制在可接受范围内，不影响周围环境和人员健康。

综上所述，评估工业废气处理设备性能参数需综合考虑效率、稳定性、经济性、环保性和安全性等多个维度。