工业废气处理设备的能效比评估主要涉及以下几个方面：

1. 处理效率：这是首要指标，衡量设备清除废气中的有害物质（如颗粒物、硫氧化物、氮氧化物等）的能力。意味着更少的能源消耗。

2. 能源消耗：考察设备运行时所需的电力或燃料消耗，通常以单位废气处理量的能耗来计算。能效比越高，能源利用率越好。

3. 运行稳定性：设备稳定运行且长期保持，避免频繁维护造成的额外能源浪费。

4. 噪音与排放：评估设备运行时产生的噪音和排放是否符合环保标准，这也是衡量能效的一个侧面，因为过度的噪音可能需要额外的隔音措施，降低能效。

5. 技术性：采用新型或节能技术的设备，其能效比通常更高。

综合以上因素，通过性能测试、能耗分析和环境影响评估，可以得出工业废气处理设备的能效比，并据此进行优化和改进。