工业废气处理设备的故障排除和维修过程通常涉及以下步骤：

1. 故障识别：首先，通过观察设备运行状态、仪表读数或听取异常声音，识别设备出现的问题，如排放不达标、噪音过大或设备停止运行等。

2. 原因分析：对故障现象进行深入分析，可能需要查阅设备手册、技术资料或询问人员，以确定故障的根本原因，可能是机械故障、电气问题或操作不当等。

3. 设备检查：对故障部位进行详细检查，包括硬件设备、管道连接、控制系统等，寻找具体的损坏或磨损点。

4. 维修或更换：对于发现的问题部件，如破损的滤网、磨损的电机或损坏的传感器，进行修复或更换。如果是软件问题，则需更新或调整控制程序。

5. 安全防护：在维修过程中，务必遵守安全规程，确保个人防护措施到位，避免二次伤害。

6. 测试运行：完成维修后，进行设备试运行，验证故障是否已解决，以及设备性能是否恢复正常。

7. 记录与预防：记录故障处理过程和结果，总结经验教训，为今后的预防性维护提供依据。

整个过程需要的技术和知识，同时定期的维护和保养也是防止设备频繁故障的重要手段。