工业废气处理设备的维护费用因设备型号、使用环境等因素而异，一般来说需要定期进行清洁保养和更换部件等操作。具体来说：

1. 一般日常检查及清洗滤网大约在几百到一千元之间； 2 .如果是针对光催化氧化反应器或者活性炭吸附箱的除臭杀菌消毒的话 ，则需要采用紫外线灯管来进行杀毒消菌 , 一根灯管的功率大概是在几十瓦左右, 因此这方面的服务和维护价格可能会达到几千元左右 。此外还需考虑地区 、人工费等各种因素来计算具体的价钱因此无法给出一个准确的数值建议咨询相关人士获取准确信息。