工业废气处理设备的维护保养是确保其正常运行和延长使用寿命的重要环节。具体包括以下几个方面：

1. 定期检查：定期对设备进行外观检查、内部结构检查和控制系统检查，及时发现并解决潜在问题。

2. 清洁维护：对设备进行清洁工作，包括设备表面的尘埃清理和内部零部件的清洗。

3. 润滑维护：根据设备使用情况，定期添加润滑剂以减少机械设备之间的摩擦和磨损。

4. 零部件更换：对于已经磨损或损坏的零部件，应及时更换新的零部件。

5. 电力系统维护：对电源线路、变电器、接触器等电气元件进行定期检查和维护，保证设备的正常供电。

6. 操作规程培训：对操作人员进行定期的操作规程培训，提高他们的操作技能和安全意识。

7. 环境温度控制：对于高温、低温、潮湿等特殊环境下的设备，应采取相应的措施来保护设备不受损害。

8. 设备试运行：在设备安装完成后，应进行试运行，检查设备的工作状态是否正常，是否存在异常声音和振动等问题。

以上就是工业废气处理设备的维护保养的主要内容，这些措施可以有效地保障设备的正常运行，延长使用寿命，并降低维修成本。